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Hersteller

Maschinennr.

Beschreibung

Hersteller: SÜSS
Modell: MicroTec Gamma
Herstellungsjahr: 2010
CE-Kennzeichnung: Ja
ELEKTRISCHE SPEZIFIKATIONEN
* Spannung: 400V, 3-phasig +N+PE
* Leistung: 22 kVA, 50 Hz
* AIC: 100 kA / 400 V
* Volllaststrom: 32 A

PNEUMATISCHE ANFORDERUNGEN
* CDA (Saubere, trockene Luft): 5 bar
* Stickstoff (N₂): 5 bar
* Vakuum (VAC): -0,8 bar
* Deionisiertes Wasser (DIW): 5 bar

SYSTEMÜBERSICHT
Leistungsstarkes automatisiertes Beschichtungs- / Entwicklungssystem für die Halbleiter- und MEMS-Verarbeitung. Ideal für 4" bis 8"
Wafer.
* Wafergröße: 4-fach I / O für 4"–8" Wafer
* Software: Version 4.41c(23)
* Betriebssystem: Windows XP Professional, Version 2002, Service Pack 3
* Prozessor: 2,0 GHz
* Speicher: 500 MB RAM

KONFIGURATION
* 4-fach I / O mit Sankio Doppelgreifer
* 2 Entwicklermodule (1 mittlere Größe)
* 1 Beschichtungsmodul (2 Lacke, IDI)
* 7 Kochplatten (HP)
* 2 Kühlplatten (CP)
* 1 Flutlichtanlage
* Mechanische Zentrierung
* Medienschrank
* Schaltschrank
* 4x Julabo Temperaturregler

Weitere Informationen finden Sie hier - https: / / www.ucymachines.com / [https: / / www.ucymachines.com / ]

Zustand

Baujahr

Maschine unter Strom