XVAC 1450

Artikelstandort

Hersteller

Maschinennr.

Beschreibung

Ofensystem XVAC 1450
Sinterofen bis 1.450°C, Serie XVAC

Technische Daten

Bauart Kaltwandsystem, Toplader, Retortenofen-Chargiergestell.
Drei Substratebenen aus perforiertem Aluminiumoxid

Deckelverfahren Manuell
Heizelemente Molybdändisilizid
Nutzraumgröße Ø 60 mm, Höhe 200 mm,
max. Temperatur 1.450 °C (N2, Ar, Ar+H2)
1.400 – 1.450 °C (Vakuum)
Gasleitungen 1
Die Gasart Stickstoff
Argon (Option)
Argon + max. 5 % H2 (alternativ) Vakuumpumpe Drehschieberpumpe Agilent DS40M Enddruck

Zustand

Maschine unter Strom